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[产品资讯]真空防辐射步进电机在工业生产领域的作用2025年06月16日 14:33: 真空防辐射步进电机在工业生产领域有着重要地位，尤其在半导体制造以及真空镀膜行业中发挥着重要的的作用。真空防辐射步进电机在半导体制造行业的作用半导体芯片制造过程包含光刻、蚀刻、薄膜沉积等多道工序，均需在高真空环境下进行。真空防辐射步进电机在光刻机中，用于精确控制光刻掩模版和晶圆的相对位置，实现纳米级的定位精度，保证芯片图案的准确转移。在蚀刻设备中，它驱动反应气体喷头和晶圆载台，精确控制蚀刻位置和深度，确保芯片电路的精细加工。在化学气相沉积和物理气相沉积设备中，真空防辐; 阅读（1）标签：